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東莞市日和自動(dòng)化設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品詳情

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藥液刻蝕清洗機(jī)

藥液刻蝕清洗機(jī)、Scrub清洗設(shè)備、藥液(氫氟酸)清洗設(shè)備

所屬分類:

藥液刻蝕清洗機(jī)


產(chǎn)品描述

設(shè)備概要:浸漬濕法蝕刻機(jī) 產(chǎn)品:6英寸晶圓&晶圓盒。

功能:在藥液中水平搖動(dòng)晶圓,蝕刻晶圓表面。      

第1槽:使用氯化鐵的蝕刻槽。 液溫50±0.3℃。水平擺動(dòng)周期2.0±0.2秒

            蝕刻時(shí)間計(jì)時(shí)器控制

            平均蝕刻速率23A/sec。(Sigma 1A)

            蝕刻后圖案線寬偏差±4um

            (線寬30~170um)              

第2槽:純水QDR第一沖洗槽。          

第3、4槽:純水溢流第2沖洗槽。

特點(diǎn):通過自動(dòng)機(jī)忠實(shí)地再現(xiàn)了客戶開發(fā)的手動(dòng)蝕刻工藝。(客戶已申請(qǐng)專利)  

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